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建設周期 |
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項目詳情
*英寸半導體特色工藝研發及產業化項目***機械電子********項目名稱：*英寸半導體特色工藝研發及產業化項目項目概況：*英寸半導體特色工藝研發及產業化項目，建設地點位于****湖區科技城，**永業路，南至新大公路，西至**路，北至馳騁路；建設性質**，建設內容：擬投資******萬元，租用南湖區大橋鎮新大路***號*****.**m*廠房，購置光刻機、涂膠顯影機、干法刻蝕機、濕法刻蝕機、離子注入、濺射機、PECVD、擴散爐等設備，形成年產**萬片*英寸功率器件特色半導體的生產能力。工程組成一覽表 主體工程 擬投資 ****** 萬元，租用南湖區大橋鎮新大路 *** 號 *****.** m* 廠房，主要生產車 間 * 座（共計二層，為無塵生產車間），一層、二層生產工序分布一致（由北往南依 次為 CMP 區、背面減薄區、離子注入/濺射區、光刻區、劃片區和濕/干法蝕刻區）； 一層東西兩側主要為原料供應區，二層東西兩側主要為配電室、機房等輔助間。 購置光刻機、涂膠顯影機、干法刻蝕機、濕法刻蝕機、離子注入、濺射機、PECVD、 擴散爐等設備，形成年產 ** 萬片 * 英寸功率器件特色半導體的生產能力。 環保工程 廢氣 共設置 * 套廢氣處理設施，** 個排氣筒 ①工藝尾氣（不含砷）經設備自帶的真空泵系統抽走，排入本地處理系統 —POU 凈化處理裝置處理后與酸性廢氣一起再經中央堿液噴淋塔（* 套） 吸收處理后于 * 根 **m 高排氣筒（*#、*#、*#）高空排放，單個排氣筒設 計風機風量 *****m* /h； ②堿性廢氣經管道收集后于中央酸液噴淋塔吸收處理后于 **m 高排氣筒 （*#）高空排放，設計風機風量 *****m* /h； ③有機廢氣收集后經沸石濃縮轉輪+RTO 焚燒處理后于 **m 高排氣筒（*#） 高空排放，設計風機風量 *****m* /h； ④含砷工藝尾氣經 * 套“二級干式吸附”處理后于 * 根 **m 高排氣筒（*#、 *#、*#、*#）高空排放，單個排氣筒設計風機風量 *****m* /h； ⑤天然氣燃燒廢氣收集后于 **m 高排氣筒（**#）高空排放，設計風機風量 ****m* /h；⑥食堂設置油煙凈化器，油煙廢氣經處理后引至樓頂排放。 廢水 設置 * 套廢水處理設施： 含氟廢水處理系統：采用“氯化鈣、氫氧化鈉化學沉淀”工藝； 含氨廢水處理系統：采用“吹脫法”工藝； 研磨廢水處理系統；采用“混凝沉淀”工藝； 酸堿廢水處理系統：采用“中和”工藝； POU 噴淋循環水處理系統：采用“過濾+離子交換”工藝 固體廢 物 設置三座一般固廢儲存場所，分別位于**車間北側（污泥倉庫）、乙類 倉庫三樓（廢靶材、廢料間）、生產車間一樓西南角（其他一般固廢倉庫）； ** * 座危廢倉庫，約 ***m*固體危廢倉庫，位于甲類庫東北側。** * 座約 ***m*液體危廢收集間，位于生產車間一樓西側。 噪聲 車間進行降噪隔聲措施 儲運工程 儲存 配備一個 ***m*的甲類化學品庫，一個 ***m*的乙類化學品庫 運輸 化學品均采用化學品車輛運輸 公用工程 給水 生活用水由***自來水有限公司供應；生產用水由南湖工業供水有限公 司供應。 排水 廠區內雨水收集后納入*政雨水管網；廢水處理后納入*政污水管網，最 終經****湖工業污水處理有限公司處達標后排入**灣。 送風 核心生產區潔凈室采用 FFU+DCC+MAU 系統，吊頂上安裝 FFU。新風經 過 MAU 集中處理后，送入回風豎井或上技術夾層；回風經過架空地板、華 夫板至潔凈下技術層，通過 DCC 降溫處理，進入回風豎井，新風與回風在 豎井內混合后進入上夾層，經 FFU 送入潔凈室。 支持區潔凈室采用 FFU+DCC+集中新風系統，吊頂安裝 FFU。新風經過集 中處理后，送入上送風靜壓箱，回風經過側墻百葉，經過干表冷器（DCC）， 新風與回風在靜壓箱內混合后，經 FFU 送入室內。 排風 潔凈車間及擴散爐等設備會產生一般排風和高溫廢氣，不需要經過處理， 可直接排放，經業主提供的資料，廠房總排風量為 ******m* /h，項目設 * 臺風機，* 用 * 備，單臺風機風量為 *****m* /h，一般排氣引至 **m 高排氣 筒高空排放。其余排風詳見環保工程廢氣內容。 供電 由***供電局南湖供電分局提供。 天然氣 供應 由***燃氣集團股份有限公司供給 供熱系 統 配備 * 臺天然氣蒸汽鍋爐備用 **（供 氣）系統 配備大宗氣體站、硅烷站、氫/氦氣貯存點及特氣供給系統 冷卻系 統 配備一套冷卻水循環系統，設 * 臺冷卻塔 輔助工程 純水制 備 新增 * 套純水制備，采用預處理（消毒、過濾）+反滲透+離子交換，制備 能力為 **t/h，產水率約 **% 辦公樓 建設一座 * 層辦公樓，占地面積約 ****m* 倒班樓 建設一座 * 層倒班樓，占地面積約 ****m* 勞動定員 及工作制 度 本項目勞動定員 *** 人，全年生產 *** 天，實行三班 ** 小時工作制，設有食堂與宿舍。 其他 /本項目產品方案一覽表 序號 產品名稱 設計年生產時 間（d） 產品計量單 位 本項目生產能力 其他 * * 英寸 IGBT 芯片 *** 萬片/年 ** /主要生產設備及數量序號 主要生 產單元 主要工藝 名稱 生產設施名稱 設施型號 單位 本項目數 量 其他* 主體生產單元激光打標 激光刻號機 SL-UV**-JY 臺 * /* RCA 清洗濕法清洗機（槽式） Ultron B*** 臺 * /* 氧化/擴散 擴散爐 VTR-**** 臺 ** /*光刻i 線涂膠顯影機 Coat DevelopMK* 臺 * /* i 線光刻機 FPA-**** i* 臺 * /* Krf 涂膠顯影機 Coat DevelopACT* 臺 * /* Krf 光刻機 FPA-**** EX* 臺 * /* PI 涂膠機 SVG** 臺 * /* PI 烘箱 YES*TA 臺 * /** 光刻版柜 PR-PD* 臺 * /** UV 固膠機 Dual Stocker**** 臺 * /**濕法刻蝕濕法 SIN 刻蝕機 Ultron B*** 臺 * /** 濕法氧化膜刻蝕機（槽式） Ultron B*** 臺 * /**離子注入中電流離子注入 EXCEED**** 臺 * /** 高電流離子注入 **** 臺 * /** 中電流離子注入（BG） CI-P*** 臺 * /** 高能離子注入（BG） GSD-VHE 臺 * /** 質子注入機（BG） VIISta****H 臺 * /** 光刻-干法去膠 等離子去膠機 L**** 臺 * /** 濕法去膠濕法去膠機（槽式） Ultron B*** 臺 * /** EKC PR***Z 臺 * /** 沉積 LPCVD VTR-**** 臺 * /** 成膜 PECVD P**** 臺 * /**干法刻蝕干法介質膜刻蝕機 P**** 臺 * /** 干法 Trench 刻蝕機 Pegasus 臺 * /** 干法多晶硅刻蝕機 P**** 臺 * /** 干法金屬刻蝕機 TCP****SE 臺 * /** 鎢沉積 W CVD Centura 臺 * /** CMPWCMP/SiO*CMP（研磨機）Universal-***smart 臺 * /** CMP 平坦化（taiko 前工藝） DFS**** 臺 * /** 濺射 濺射機 Endura 臺 * /** 濺射機（BG） eVictorGX** 臺 * /** 貼膜 貼膜機 DR**** 臺 * /** 減薄 研磨機 DFG*** 臺 * /** taiko 研磨 DTG**** 臺 * /** 化學腐蝕 背面化拋 SP*** 臺 * /** 退火RTP（快速退火爐） AST*** 臺 * /** 激光退火 UPEALA-*** 臺 * /**劃片晶圓貼片 **** 臺 * /** 解 UV 機(帶 ring) **** 臺 * /** taiko 去環 DFD****RR 臺 * /** taiko 揭膜 HR**** 臺 * /** 砂輪切割機 disco 臺 ** /**研發檢驗單元測量 膜厚測試儀(金屬) Optiprobe **** 臺 * /** 測量 CDSEM S-**** 臺 * /** 測量 Overlay 測試機 **** 臺 * /** 測量 KLA 圖形缺陷(檢/分/計)(明場） tencor**** 臺 * /** 測量 KLA 圖形缺陷(檢/分/計)(暗場） AIT-UV 臺 * /** 測量 SEM vision G* 臺 * /** 測量 方阻測試儀(金屬/非金屬) ZH-PR*A 臺 * /** 測量 應力儀 ZH-FS*A 臺 * /** 測量 自動外觀機(ADI/AEI) Optistation 臺 * /** 測試 中測測試機 ****UX 臺 * /** 輔助 Sorter(分類器) Table Top Sorter 臺 * /** 測量 聚光燈 **W 臺 * /** 測量 顯微鏡（BG-VisInsp） L***ND 臺 * /** 測量 激光粒子計數器 lighthouse 臺 * /** 測量 ESD 測試儀(套) / 臺 * /** 測量 環光顯微鏡 nikon 臺 * /** 測量 OQA 外觀檢查機 NWL*** 臺 * /** 測量 AOI(for OQA) eagelI 臺 * /** 測量 顆粒度檢測儀 **** 臺 * /** 測量 溝槽深度測量儀 n&k **** 臺 * /** 測量 臺階儀 P** 臺 * /** 測量 硅厚測量儀 中科飛測 臺 * /** 測量 硼磷濃度測試儀 SPECTROMAXx 臺 * /** 測量 接觸角測量儀 Theta Flow 臺 * /** 測量 注入表面微損傷檢測儀器 ***XP 臺 * /** 測量 金屬污染測試機+VPD **** 臺 * /** 測量 CV 測試儀 ****A 臺 * /** 測量 截面 SEM **** 臺 * /**公用單元冷卻 冷凍機 / 臺 * /** 冷卻 冷卻塔 / 臺 * /** 供熱 鍋爐（備用） / 臺 * /** 純水制備 純水系統 / 套 * /** 原料供給 大宗氣體及特氣供給系統*****m* 儲罐****m* 儲罐 套 * /** 原料輸送 化學品傳送系統 / 套 * /** 空氣壓縮 空壓機 / 臺 * /環評機構：**省環境科技有限公司報告查閱聯系人：王工聯系電話：***********傳真：****-********通訊地址：***融通商務中心*號樓*樓景觀綠化工程 電氣安裝工程 通風工程 停車場工程 圍墻工程 門窗工程 環氧地坪 標識標牌 智能化工程 土石方 消防工程 場地平整 幕墻工程 給排水工程 安防工程 機電安裝工程 供配電工程 土建工程 室外景觀 防水工程 室外配套工程 防雷工程 樓宇亮化 樁基礎 強弱電工程 基坑支護鉆床 上板機 貼片機 干燥機 環保設備 除塵設備 輸送設備 沖床 輸送設備 拋丸機 檢測設備 噴碼機 擠出機監理服務 方案編制服務 環境影響報告編制服務 地質勘察服務 招標代理服務 安全評估服務 技術咨詢服務 審計服務 工程設計服務防水材料 防腐材料 保溫材料 地板 瓷磚 混凝土 水泥 鋼筋 勞保用品 安全帽 防護帽 防護服 勞保服 勞保鞋 絕緣鞋 勞保手套 工作服業主單位**芯晟半導體科技有限責任公司*************省****湖區科技城，**永業路，南至新大公路，西至**路，北至馳騁路項目負責人李華鵬辦公室職員***********
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