大連理工大學大面積寫場的電子束曝光系統單一來源采購公告

采購單位：大連理工大學

采購單位地址：***

采購單位聯系方式***

一、采購項目內容

      本項目擬采購大面積寫場的電子束曝光系統，目的是通過SEM成像，利用電子束對材料涂層的表面轟擊，達到材料表面改性的研究。

二、開標時間：2020年11月10日 10:00

三、其它補充事宜

單一來源采購原因及相關說明

大連理工大學光電工程與儀器科學學院微納光電子集成器件實驗室擬采購一臺電子束曝光系統，該項目擬用于超材料結構、光子晶體器件、二維材料器件及MEMS等器件的加工。加工設備需滿足亞10納米尺寸的加工功能，超高分辨率電子束光刻與掃描電鏡成像技術，大面積器件的拼接套刻功能，且可對不同種結構進行靈活改變處理的能力。Raith公司的PIONEER Two電子束曝光系統具備亞十納米高分辨的曝光功能，該設備激光級行程范圍能達到數厘米量級；具有優異的低電壓曝光能力，且電壓在20V-30kV之間靈活可調；集成高分辨激光干涉工作臺，可實現大面積納米結構的≤50 nm的高精度拼接套刻工藝。以上產品性能充分符合我實驗室的科研需求。

經調研，國外市場上其他品牌同類產品不能提供所需的電壓調節范圍。國內某些品牌產品寫場尺寸過小達不到要求，且無法提供所需的低壓要求。Raith公司的儀器能夠滿足實驗寫場尺寸要求，是唯一能提供低壓EBL的設備，銳時科技(北京)有限公司是Raith GmbH國內代理商，因此，只能采用單一來源采購方式進行采購。

四、預算金額：

預算金額：450.0000000 萬元（人民幣）