東南大學機械工程學院高真空三靶磁控鍍膜系統采購公告

  東南大學機械工程學院高真空三靶磁控鍍膜系統采購公告

項目名稱：機械工程學院高真空三靶磁控鍍膜系統采購

項目地點：東南大學九龍湖校區

項目預算：39萬元

項目概況：機械工程學院采購高真空三靶磁控鍍膜系統一套

用途：該系統適用于實驗室制備金屬單質、氧化物、介電質、半導體膜、電極材料等。

主要技術要求

真空腔室采用前開門，選用優質不銹鋼

前級機械泵：抽速不小于9L/s

復合分子泵：抽速不小于1300L/s；

濺射室極限真空度≤8x10-6Pa(經烘烤除氣后)

濺射室25分鐘可達到5x10-4 Pa

系統停泵關機12小時后真空度≤5Pa

配備三靶濺射系統，含一個強磁靶。靶大小為60mm，各靶可獨立/順次/共同

工作，電源和靶可自動切換，各靶含獨立旋轉氣動控制擋板組件

投標單位條件

提供法人營業執照副本、稅務登記證副本、組織機構代碼證。

上述文件報名時須提供一套原件的復印件并加蓋公章（請在封面注明：項目名稱、公司信息、聯系人、聯系電話***

報名及資格預審時間：2018年7月9日至2018年7月16日下午4:00。

報名及資格預審材料送審地點：南京市四牌樓2號東南大學河海院一樓東南大學采購中心103宋老師。（025-83795552）