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低壓化學氣相沉積涂層實驗裝置（JJ2017111758）網上競價公告

招標文件下載
信息發布日期：2017.12.14 標簽： 四川省招標 
招標編號：JJ2017111758
加入日期：2017.12.14
截止日期：2017.12.19
招標業主：四川大學
地 區：四川省
內 容：低壓化學氣相沉積涂層實驗裝置（************）網上競價公告 發布時間： ****-**-** **:**:** 項目名稱低壓化學氣相沉積涂層實驗裝置項目編號************ 公告開始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:** 采購單
 
招標公告正文
低壓化學氣相沉積涂層實驗裝置（JJ2017111758）網上競價公告
發布時間： 2017-12-14 17:31:52
項目名稱
低壓化學氣相沉積涂層實驗裝置
項目編號
JJ2017111758
公告開始日期
2017-12-14 17:31:52
公告截止日期
2017-12-19 17:30:00
采購單位
四川大學
付款方式
付全款
聯系人*** 未公布 聯系電話*** 未公布
簽約時間要求 成交后15個工作日 到貨時間要求 成交后15個工作日
預 算 CNY   87000.00
收貨地址 四川大學望江校區一環路南一段24號
供應商資質要求 符合《政府采購法》第二十二條規定的供應商基本條件
采購清單 1
采購商品 采購數量 計量單位 所屬分類
低壓化學氣相沉積涂層實驗裝置 1 臺
品牌 興天宇
型號 SKZD-064-150SCB
技術參數及配置要求 1.電磁隔膜閥：a.通徑為：1/4英寸；b.工作電壓：24V交流；c.工作溫度：150℃；d.實際工作壓力：－0.1～0.3MPa；e.閥體材質：耐酸堿腐蝕；f.安裝方向：橫式；g.類型：常開；h.頻率1300次/小時，電磁閥動作延遲時間小于0.1s。 2.冷井：內外均采用SUS316L優質不銹鋼制作，體積約12.5L，內填充活性炭、濾布等材料，對系統氣體進行凈化冷卻處理，使出口氣體粉末≤5μm，溫度≤30℃，壓降≤100Pa。 3.緩沖罐：內外均采用SUS316L優質不銹鋼制作，體積約：28L，使高溫涂層裝置壓力穩定度≤±100Pa。 4.真空泵：采用進口高品質真空泵，額定抽速約4.5L/s。連續抽氣極限真空度達：0.08Pa，穩定真空度：200Pa。耐酸堿腐蝕。當電磁閥EV2關閉，EV3打開時沉積室中壓力達到200Pa時間小于2s。 5.氣體累積器：采用進口氣體流量計，量程20L/min。 6.控制系統要求： a.通過控制系統進行參數調節，可以單獨實現電磁閥EV1、EV2、EV3當中任何一個的開關動作時間控制。 b.可以實現電磁閥EV1、EV2、EV3三個聯動控制或者其中任意兩個聯動控制。列如，電磁閥EV1先開啟2秒鐘，然后再開啟電磁閥EV2并同時關閉電磁閥EV1，電磁閥EV2開啟3秒鐘再開啟電磁閥EV3并同時關閉電磁閥EV2，電磁閥EV3開啟一定時間之后打開電磁閥EV1并關閉電磁閥EV3，如此往復循環能持續工作一定時間（10h）以上。 c.通過對電磁閥控制系統相應參數的設置可以實現不同開關時間的循環周期。 d.不通電時電磁閥均處于開啟狀態?！?

四川大學

2017-12-14 17:31:52

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