大連理工大學光刻機單一來源公告

采購單位：大連理工大學

采購單位地址：***

采購單位聯系方式***

一、擬采購的貨物或者服務的說明:

本項目擬采購一臺光刻機，其分辨率為0.8微米，均勻度為正負2.5%。同時，支持大景深的加工制作。供應商負責供貨、安裝及售后。

二、采用單一來源采購方式的原因及相關說明:

本項目制作的納米線尺寸只有幾十納米，因此需要高精度的制作儀器來制作整齊的、高質量的納米線，光刻機是能滿足本需的儀器之一。

本項目在制作高靈敏度高精度的圖像傳感器時需要超高精度的加工手段來生長納米線，因此對分辨率的需求要在1微米以下，目前世界上最高精度為0.8微米。其次，對薄膜的均勻度有極高的要求，最少要達到正負2.5%，這就保證了本項目在光刻膠上制作圖案及生長的納米線的長度、寬度的均勻性，對之后制作出的超高精度圖像傳感器的均勻性有著決定性的作用。同時，本項目還需要大景深的加工制作，對已經制作出來的圖案進行二次加工，用于對納米線生長部位進行再加工，能夠更加保證納米線的均勻性生長。

本項目擬購置的MJB4的精度可以達到0.8微米，均勻度可以達到2.5%，同事具有大井深加工功能。目前國內儀器的精度都在2微米以上，不滿足使用需求。

國外其他制造商的產品精度都在1微米以上，也不滿足本項目的實驗需求，且不具備大井深刻蝕功能。

綜上所述，只有SUSS公司的MJB4產品能夠滿足本項目的需要，故只能從唯一供應商處采購。

三、開標時間：2017年07月25日 08:30

四、擬定的唯一供應商名稱及其地址：***