高水平大學共享平臺購深能級瞬態譜儀需求公示

 

深能級瞬態譜儀項目是（  高水平大學  ）

 

  設備主要用途是：深能級雜質產生的施主能級距離導帶底較遠，受主能級距離價帶頂較遠。深能級雜質可多次電離，在禁帶中引入多個能級，有些既能引入施主能級又能引入受主能級。相對淺能級而言，深能級對載流子的貢獻較小，但對非平衡載流子的符合作用很強。由某些微量雜質（如硼、鋁、銅等）形成的等電子雜質與基材電負性的差異，能俘獲載流子，成為帶電中心，形成等電子陷阱，造成點缺陷（空位）、線缺陷（位錯）、面缺陷（層錯）。缺陷可產生附加勢場，改變晶體晶格原有勢場，使電子或空穴束縛在缺陷周圍，產生局域化的電子態，從而在禁帶中引入相應的缺陷能級。銅、鎳、鈹、鋅、鋁等雜質以及其他晶格缺陷, 在禁帶中引入深能級, 它們起復合中心的作用, 嚴重影響到探測器的分辨率, 尤以銅、鋁的影響最大。氫、碳、硅等中性雜質及其絡合物也是一些俘獲中心，必須降低其含量。深能級瞬態譜儀可以為解決這些難題提供關鍵的技術支撐。

 

  該設備項目預算為210萬元。  

投標人”系指響應采購文件要求、參加本次招標采購的供應商。 (1) 投標人必須是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿易往來的國家或地區（以下簡稱“合格來源國/地區”）的法人或其他組織，在法律上和財務上獨立、合法運作并獨立于招標人和招標機構，具有相關經營范圍，有資格和能力提供本采購項目的貨物及服務的制造商或代理商（或經銷商）。須提供營業執照或企業注冊證明復印件（經營范圍必須涵蓋本次招標貨物，加蓋公章）。深圳大學是科教儀器設備減免稅單位，如果是境外供貨，投標人應有境外供貨與外幣結算資格或者是取得了境外供貨貿易商的投標授權。若投標人按照合同提供的貨物不是投標人自己制造的，投標人應得到貨物制造商同意其在本次投標中提供該貨物的正式授權書原件或是合法代理商（若投標人為合法代理商應出具有效代理證明掃描件，制造商除外）。（2）證明投標人已具備履行合同所需的財務、技術和生產能力的文件。（3）投標人須提供設備在國內的銷售業績表、合同復印件或中標通知書復印件（表中應列出設備的出廠日期、用戶名稱、地址、聯系人及聯系方式***
2）參與政府采購項目投標的供應商近三年內無行賄犯罪記錄（由采購中心定期向市人民檢察院申請對政府采購供應商庫中注冊有效的供應商進行集中查詢，投標文件中無需提供證明材料）； 

  1．采購貨物配置功能要求，各設備的主要技術參數、性能規格

 

技術指標：

 

1.         可提供的DLTS模式：

 

電容模式(C-DLTS) ，恒定電容模式(CC-DLTS)，電流模式(I-DLTS)，電荷模式(Q-DLTS)，FET模式(FET DLTS,第二電壓源測試3端器件)，瞬態差異模式(DD-DLTS)，等溫瞬態譜（ITS,Isothermal Transient Spectroscopy），光致瞬態譜（PICS），俘獲面模式(Capture DLTS)，拉普拉斯模式(Laplas DLTS)，表面態分析模式(MIS-NSS DTLS, surface states density measurement)，Zerbst 模式(MIS Zerbst DLTS, Minorier generation/lifetime measurement)，C-V, I-V,C-t, I-t測試。

 

2.         評價模式：

 

2.1       配備28種耦合方式,包括傳統的Boxcar和Lock-in方式在內,只需要一次變溫過程,就可以得到28組數據曲線,并得到最多28個Arrhenius數據點

 

2.2       單個溫度點可設定多達18種不同測試參數序列(如偏壓,脈沖電壓,脈沖寬度,脈沖模式等),只需要一次變溫過程,即可得到不同參數不同關聯函數的測試曲線

 

2.3       傅里葉方式,直接時間常數評價

 

2.4       拉普拉斯評價,反向拉普拉斯變換,用于評價單個或多個瞬態譜中的時間常數

 

2.5       高能量解析模式,使用特殊數學公式對強overlapping溫度掃描或等溫信號進行分析.

 

3.         軟件功能：

 

3.1          C/V,I/V和C/t測試

 

1.淺能級摻雜濃度測試，2.勢壘高度，3.理想參數 (n- factor) (shottky 二極管)，4.氧化物電容 (MIS 電容)，5.Zerbst 分析 (MIS)，6.單瞬態曲線分析，7.傅里葉變換,拉普拉斯變換, 多指數瞬態擬合分析，8.FET分析,參數設定I/V曲線,3D曲線

 

3.2          DLTS(溫度掃描測試)

 

1.常規測試參數設定補償，2.測試參數用戶可自定義并保存，3.直接調用用戶存儲的參數進行測試，4.同一個溫度掃描可執行8種不同測試任務，5.自動與手動模式Arrhenius 曲線分析，6.在溫度掃描測試當中，自動進行 I/V C/V 測量，7.缺陷濃度掃描，8.在每個溫度掃描中測試C(T)參數，9.能量曲線，10.使用DLTS 算法進行溫度掃描擬合，11.可使用24種不同耦合函數分析Arrhenius 曲線，12.可在DLTS溫度掃描前自動進行測試應用 CR(T) ,CP(T)或C/V(T) 數據修正Ns(T)

 

4.         硬件指標：

 

4.1     脈沖發生器:電壓范圍涵蓋±100 V (±0.3m V ) ；脈沖寬度涵蓋:1 µs - 1000 s

 

4.2     電容測量：高頻信號涵蓋1 MHz

 

4.3     電容補償范圍涵蓋 1pF- 3300pFF

 

4.4     HF頻率: 1MHz ；HF信號: 100mV

 

4.5          電容測試范圍[pF] 涵蓋: 2pF, 20pF,200pF,2000pF (手動或自動) ；電容測試靈敏度: ≤0.01 fF

 

4.6     電流放大器:最大測試電流可以達到15mA ;電流分辨率≤10 pA

 

4.7     數字瞬態記錄器：最大采樣可以達到: 64000 data points ;采樣間隔能滿足: 2 µs - 4s

 

4.8     可支持溫度范圍涵蓋:15K - 450K

 

4.9          電阻率與表面電阻測試范圍涵蓋：0.5mOhm.cm~1Mohm.cm , 5.0mOhm/sq~10.0Mohm/sq

 

4.10      電阻率與表面電阻測試重復性好于或等于±1.5% （CV值，典型值）

 

4.11      電阻率與表面電阻的77K樣品臺：適合晶棒樣品尺寸50cm*4”與20cm*4”及以上徑向測試

 

4.12      觀察待測試材料缺陷的金相顯微鏡：放大倍率≥1000X

 

 

 

 

 

 

序號	目錄	招標商務需求
（一）免費保修期內售后服務要求
1	免費保修期	安裝：儀器制造廠授權的技術人員現場安裝調試，儀器技術指標經驗收合格，附驗收報告。   要求由儀器制造廠提供  1  年以上免費保修服務。軟件終身免費升級。保修期后繼續支持維修，并按成本價標準收取維修及零件費用。   質保期內，供方將向需方提供優質的售后技術支持服務，開通熱線電話接受需方的電話技術咨詢，如故障不能排除，供方應在 1～2  日內提供現場服務，待產品運行正常后撤離現場。
2	維修響應及故障解決時間	供方應定期對產品進行預維護保養，以防患于未然。在整個產品運行過程中，供方幫助需方解決在應用過程中遇到的各種技術問題。在廣東省要有售后維修服務辦事處，有專職的工程師，提供維修服務和技術支持。若用戶遇故障后求援，需要保證1~2小時內有專人回復。若維修工程電話不能解決故障，即使有特殊情況，需要保證在1～2個工作日內到現場處理。每次維修最多不超過5個工作日完成。
……	其他	投標人應按其投標文件中的承諾，進行其他售后服務工作。
（三）其他商務要求
1	關于交貨	（1）合同簽訂后且免稅證明審批通過后 90 個日歷日內交貨，產品的附件、備品備件及專用工具應隨產品一同交付（以下幾種情況，交貨期經雙方協商可以順延：對于研制設備，研制過程中出現特殊情況）；   （2）交貨（具體）地點： 深圳大學實驗樓S109室。
		1.2投標人必須承擔的設備運輸、安裝調試、驗收檢測和提供設備操作說明書、圖紙等其他類似的義務。
2	關于驗收	貨物抵達交貨地點后，供方應及時通知需方進行收貨檢驗，需方接到通知后安排人員對貨物的外包裝完好性和外包裝標示的品牌、型號、規格、數量是否符合要求進行檢驗，并簽署相應的收貨報告。   6．產品質量要求標準   （1）提供的貨物必須是合法廠家生產和經銷的原包裝產品（包括零配件），必須具備生產日期、廠名、廠址、產品合格證等。   （2）需方在中國使用該貨物或貨物的任何一部分時，免受第三方提出的侵犯其專利權、商標權或工業設計權等知識產權的起訴或司法干預。如果發生上述起訴或干預，則其法律責任均由供應商負責。   7．安裝、調試和驗收標準、程序及期限   （1）供方應委派技術人員進行現場安裝、調試，并提供貨物安裝調試的一切技術支持。   安裝調試的具體時間由需方提前3天通知供方。   （2）驗收內容包括但不限于：a. 型號、數量及外觀；b.貨物所附技術資料；c.貨物組件及配置；d.貨物功能、性能及各項技術參數指標。   （3）供需雙方及相關單位共同進行開箱檢驗。依據相關法律法規要求，邀請國家商檢部門進行商檢的，商檢、檢疫費用由供方承擔。供方負責免費安裝、調試。安裝、調試完成后，由供需雙方組成驗收小組共同進行技術驗收和商務驗收，驗收合格后簽署《驗收報告》。 產品質量和安裝調試檢驗標準遵照前述標準執行。   （4）驗收中如發現有質量不合格或型號規格、數量等與送貨清單不符等情況，供方應免費更換或補齊，并承擔因更換或補齊貨物所發生的進、出口環節綜合費用和代理費用以及違約責任。
		1.2當滿足以下條件時，采購人才向中標人簽發貨物驗收報告：   a、中標人已按照合同規定提供了全部產品及完整的技術資料。   b、貨物符合招標文件技術規格書的要求，性能滿足要求。   c、貨物具備產品合格證。
……
……
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備注：

 

1. “（一）免費保修期內售后服務要求”部分，請詳細列明免費保修期內的售后服務要求，內容包括但不限于免費保修期限、售后服務人員配備、技術培訓方案、質量保證、違約承諾、維修響應及故障解決時間、方案等。

 

2. “（二）免費保修期外售后服務要求”部分，請詳細列明免費保修期外的售后服務要求，內容包括但不限于零配件的優惠率、維修響應及故障解決時間、方案、提供的服務等。

 

3. “（三）其他商務要求”部分，如有補充，請詳細列明。

 

 

序號	貨物名稱	招標技術要求	投標技術響應	偏離情況	說明

 

 

序號	目錄	招標商務條款	投標商務條款	偏離情況	說明
（一）免費保修期內售后服務條款偏離表
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（一）免費保修期外售后服務條款偏離表
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（三）其他商務條款偏離表
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