高水平大學共享平臺購全光譜光激發測試儀需求公示

 

固體真空深紫外光電子器件在火災探測、導彈追蹤、環境監測、生物檢測、紫外天文學、紫外通訊等軍用、民用與科研領域有著廣泛的應用，受到越來越多的重視。固體真空深紫外光電子器件的基礎是寬禁帶半導體材料。氮化鋁材料具有6.2eV的超寬禁帶帶隙，3.4W/cmK的高熱導率，4.6？106 V/cm的高擊穿場強，另外有高熱穩定性，高化學穩定性等優良特性，在固體真空深紫外光電子器件中具有巨大的應用潛力。深圳大學光電工程學院承擔了多項以氮化鋁晶體生長為研究內容的國家基金，國家重點基金以及973前期項目，發展出獨特的雙區加熱物理氣相傳輸法，成功生長出氮化鋁單晶微米線，晶針，晶柱以及尺寸達到2cm的晶錠，達到世界先進水平。為構建高性能真空深紫外光電子器件奠定了堅實的基礎。

 

構建真空深紫外光電子器件需要在短波長（<180nm）范圍內對材料和器件的性能進行表征。這一波段的光線因其高能特性，會被空氣和很多固體材料吸收。因此對分光，光傳輸，探測等部件的分辨率和抗衰減能力等都提出了苛刻的要求。相關儀器設備也因此比較昂貴。國內在這一領域的研究還處在起步階段。真空深紫外光探測器件已有報道，而發光器件尚無報道。在深圳市政府和深圳大學的支持下，依托深圳大學的高水平大學建設項目，同時根據本學院在這一領域的良好材料研究基礎，特提出購置一套激發和探測范圍覆蓋真空深紫外到近紅外的全光譜光激發測試儀，從而大大加強和完善深圳大學在光電器件領域的研究實力，也填補國內在深紫外光激發領域的空白。

 

由于技術水平限制，國內諸多單色儀和光譜儀廠家所使用的核心器件-光柵都是由國外進口，主要集中在深紫外到紅外的范圍。如北京卓立漢光的“譜王”系列單色儀，杭州譜鐳光電技術有限公司的M226系列單色儀，北京NbeT科技有限公司Omno系列單色儀等，采用進口光柵，最低分光范圍只有180nm。而國外在光譜和真空技術方面的發展歷史悠久，技術積累深厚，可以實現在真空深紫外范圍的高效分光和測試。如美國McPherson公司的Model 234/302真空單色儀，和日本HORIBA Scientific的H20-UVL系統，通過凹面光柵和特殊鍍膜材料，可以實現115-350nm的高效分光。與其高質量真空系統相結合，可以滿足真空深紫外光電子器件的表征。

 

 

1）投標人”系指響應采購文件要求、參加本次招標采購的供應商。 (1) 投標人必須是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿易往來的國家或地區（以下簡稱“合格來源國/地區”）的法人或其他組織，在法律上和財務上獨立、合法運作并獨立于招標人和招標機構，具有相關經營范圍，有資格和能力提供本采購項目的貨物及服務的制造商或代理商（或經銷商）。須提供營業執照或企業注冊證明復印件（經營范圍必須涵蓋本次招標貨物，加蓋公章）。深圳大學是科教儀器設備減免稅單位，如果是境外供貨，投標人應有境外供貨與外幣結算資格或者是取得了境外供貨貿易商的投標授權。若投標人按照合同提供的貨物不是投標人自己制造的，投標人應得到貨物制造商同意其在本次投標中提供該貨物的正式授權書原件或是合法代理商（若投標人為合法代理商應出具有效代理證明掃描件，制造商除外）。（2）證明投標人已具備履行合同所需的財務、技術和生產能力的文件。（3）投標人須提供設備在國內的銷售業績表、合同復印件或中標通知書復印件（表中應列出設備的出廠日期、用戶名稱、地址、聯系人及聯系方式***
2）參與政府采購項目投標的供應商近三年內無行賄犯罪記錄（由采購中心定期向市人民檢察院申請對政府采購供應商庫中注冊有效的供應商進行集中查詢，投標文件中無需提供證明材料）； 

  

1．采購貨物配置功能要求，各設備的主要技術參數、性能規格

 

 

 

 

1、Basic function: Spectral respond measurement, Translation/Absorption measurement, EL/PL Measurement; Optional function: Reflective measurement with different angle.

 

基礎功能：光譜響應測試、透射/吸收光譜測試、電致發光/光致發光光譜測試；可選功能：多角度反射光譜測試；

 

*2、Light source, Spectral range:120nm~600nm;D2 Lamp, Power≥150W；LDLS, Spectral range:170nm~2000nm；

 

光源：光譜范圍：120nm~600nm，氘燈，功率≥150W; 激光驅動等離子體白光光源，光譜范圍：170nm~2000nm；

 

3、Vacuum compatible reflective condenser for energy optimizing. This optimizer has two branches. Mirror rotates 180deg to choose from between two sources in vacuum. F/#<5.5

 

紫外優化的聚焦鏡；雙光源光路切換裝置，可實現在真空下180°光源切換；

 

4、Exciting Monochromator, Spectral Range: 120~1100nm；Resolution≤0.2nm；With Moto step Driver;

 

激發單色儀，光譜范圍：120nm~1100nm；光譜分辨率≤0.2nm；電機驅動掃描；

 

*5、Variable Speed Chopper, with Vacuum compatible; Vacuum compatible shutter;

 

頻率可調真空斬波器，真空用快門；

 

6、Motorized vacuum filter wheel with 5 positions 25mm diameter aperture.

 

電動真空濾光片輪，通光孔徑25mm；

 

7、Collimating/Focusing Chamber with Kinematic mounts; Collimating/Focusing Optics with AL+MgF2 coating optimized for 120nm;

 

準直聚焦光路套件，光學元件優化鍍膜120nm；

 

8、Vacuum Sample chamber;

 

真空樣品腔；

 

*9、Sample could be switch to the position of the reference detector after power calibration without break vacuum.

 

在不破壞真空的情況下可實現樣品跟標準探測器的切換；

 

10、Sample size:≥1 inch; Sample position: ≥2；

 

樣品尺寸≥1 英寸；樣品位置≥2

 

11、SMA type electrical feed through connectors：≥9; measurement accuracy≤1pA ; Withstand Voltage≥200V

 

SMA專用電學穿墻接頭；數量≥9個；可承受電壓≥200V；電流精度：≤1pA

 

12、One view window, CCD camera optional for observation.

 

一個觀察窗；可選CCD觀察；

 

13、One quartz window for exciting Laser;

 

一個石英激光窗口；

 

14、One quartz window with detector adapter for Translation/absorption measurement;

 

Optional for VUV reflective spectrum measurement at different angle;

 

一個石英窗口，用于透射光譜測試；

 

可選真空紫外變角度反射光譜測試；

 

15、NIST or NIM traceable Standard detector, calibration range:120nm~1100nm;

 

NIST或者NIM溯源的標準探測器，光譜范圍：120nm~1100nm；

 

16、Emission spectrometer with moto driver, Two grating; spectral range:200nm~1000nm; resolution：Better than 0.2nm;

 

發射光譜儀，雙光柵，分光范圍：200nm~1000nm；光譜分辨率：優于0.2nm

 

*17、CCD Detector, with UV enhance coating; Active Pixels: 1024X255; Cooling temperature:-100℃；Dark Current:<0.002e-/pixel/sec;

 

CCD探測器，UV增強鍍膜，有效像素：1024X255；致冷溫度：-100℃；暗電流：<0.002e-/pixel/sec;

 

 

 

 

18、Oil free TURBO Pump;

 

無油分子泵；

 

19、Close cycle Cryogenic system, temperature:10K~500k;

 

液氦閉循環低溫樣品架，溫度：10K~500k;

 

20、Special Sample chamber cover for Cryogenic system, with three SMA electrical feed through connectors, measurement accuracy≤1pA； Withstand Voltage≥200V；

 

專用低溫樣品蓋，帶SMA電學穿墻頭；

 

21、Software for system control

 

軟件可控制光譜儀及數據采集器；

 

22、Optical table;

 

光學平臺，用于放置設備；

 

 

 

序號	目錄	招標商務需求
（一）免費保修期內售后服務要求
1	免費保修期	產品全部驗收合格后（以技術驗收合格簽字為標準），供方向需方免費提供 3  年上門保修服務。免費保修期內，所有貨物保修服務方式均為供方派員到用戶貨物使用現場進行保修，保修期內產生的一切費用均由供方承擔（含需要返原廠修理的所有費用）。供方如不能修理或不能調換，按產品原價賠償處理。   貨物的檢修期應以雙倍計算延長免費保修期。   質保期  3 年。保修承擔方為賣方，技術支持方為：生產商
2	維修響應及故障解決時間	質保期內，供方將向需方提供優質的售后技術支持服務，開通熱線電話接受需方的電話技術咨詢，如故障不能排除，供方應在 2  日內提供現場服務，待產品運行正常后撤離現場。   保修期后繼續支持維修，并按成本價標準收取維修及零件費用。
……	其他	投標人應按其投標文件中的承諾，進行其他售后服務工作。
（二）其他商務要求
1	關于交貨	（1）合同簽訂后且免稅證明審批通過后 30  個日歷日內交貨，產品的附件、備品備件及專用工具應隨產品一同交付（以下幾種情況，交貨期經雙方協商可以順延：對于研制設備，研制過程中出現特殊情況）；   （2）交貨（具體）地點：    深圳大學光電工程學院
		1.2投標人必須承擔的設備運輸、安裝調試、驗收檢測和提供設備操作說明書、圖紙等其他類似的義務。
2	關于驗收	1.1貨物抵達目的地后的檢驗程序和期限     貨物抵達交貨地點后，供方應及時通知需方進行收貨檢驗，需方接到通知后安排人員對貨物的外包裝完好性和外包裝標示的品牌、型號、規格、數量是否符合要求進行檢驗，并簽署相應的收貨報告。   1.2．產品質量要求標準   （1）提供的貨物必須是合法廠家生產和經銷的原包裝產品（包括零配件），必須具備生產日期、廠名、廠址、產品合格證等。   （2）需方在中國使用該貨物或貨物的任何一部分時，免受第三方提出的侵犯其專利權、商標權或工業設計權等知識產權的起訴或司法干預。如果發生上述起訴或干預，則其法律責任均由供應商負責。   1.3．安裝、調試和驗收標準、程序及期限   （1）供方應委派技術人員進行現場安裝、調試，并提供貨物安裝調試的一切技術支持。   安裝調試的具體時間由需方提前3天通知供方。   （2）驗收內容包括但不限于：a. 型號、數量及外觀；b.貨物所附技術資料；c.貨物組件及配置；d.貨物功能、性能及各項技術參數指標。   （3）供需雙方及相關單位共同進行開箱檢驗。依據相關法律法規要求，邀請國家商檢部門進行商檢的，商檢、檢疫費用由供方承擔。供方負責免費安裝、調試。安裝、調試完成后，由供需雙方組成驗收小組共同進行技術驗收和商務驗收，驗收合格后簽署《驗收報告》。 產品質量和安裝調試檢驗標準遵照前述標準執行。   （4）驗收中如發現有質量不合格或型號規格、數量等與送貨清單不符等情況，供方應免費更換或補齊，并承擔因更換或補齊貨物所發生的進、出口環節綜合費用和代理費用以及違約責任。
		1.2當滿足以下條件時，采購人才向中標人簽發貨物驗收報告：   a、中標人已按照合同規定提供了全部產品及完整的技術資料。   b、貨物符合招標文件技術規格書的要求，性能滿足要求。   c、貨物具備產品合格證。
……
……
……

備注：

 

1. “（一）免費保修期內售后服務要求”部分，請詳細列明免費保修期內的售后服務要求，內容包括但不限于免費保修期限、售后服務人員配備、技術培訓方案、質量保證、違約承諾、維修響應及故障解決時間、方案等。

 

2. “（二）免費保修期外售后服務要求”部分，請詳細列明免費保修期外的售后服務要求，內容包括但不限于零配件的優惠率、維修響應及故障解決時間、方案、提供的服務等。

 

3. “（三）其他商務要求”部分，如有補充，請詳細列明。

 

 

序號	貨物名稱	招標技術要求	投標技術響應	偏離情況	說明

 

 

序號	目錄	招標商務條款	投標商務條款	偏離情況	說明
（一）免費保修期內售后服務條款偏離表
1
2
……
（一）免費保修期外售后服務條款偏離表
1
2
……
（三）其他商務條款偏離表
1
2
……

 

   

評標信息（設備類不含工程）

 

序號	評分項				權重
1	價格				30
2	技術部分				53
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	技術保障措施	3	專家打分	在投標文件中詳細說明保障措施（包括技術團隊、技術方案、技術人員、場地、車輛等），評審委員會根據響應情況進行橫向比較，按優100分，良80分，中60分，差0分打分。   （采購人可根據項目具體情況設置評價因素）
	2	技術規格偏離情況	50	專家打分	1. 投標人應如實填寫《技術規格偏離表》，評審委員會根據技術需求參數響應情況進行打分，各項技術參數指標及要求全部滿足的得100分，每負偏離一項（重要條款）扣10分普通條款扣5分（分值根據具體技術參數的數量綜合設定）。
3	商務需求				9
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	免費保修期內售后服務條款偏離情況	6	專家評分	投標人應如實填寫《免費保修期內售后服務條款偏離表》，評審委員會根據響應情況進行打分，全部滿足要求的得100分，每負偏離一項扣50分。
	2	資質要求及其他商務需求	3	專家評分	投標人應如實填寫《其他商務條款偏離表》，評審委員會根據響應情況進行打分，全部滿足要求的得100分，每負偏離一項扣30分。
4		綜合實力部分			8
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	投標人近三年同類業績（截止日為本項目公告發布之日）	3	專家評分	提供3個同類業績即得滿分，提供2個得60分，提供1個得30分，未提供的不得分。投標人必須在投標文件中提供每一個完工項目的合同和驗收報告，否則不得分
	2	誠信	5	專家評分	根據《深圳市財政委員會關于加強招投標評審環節誠信管理的通知》（深財購[2013]27號）的要求，投標人在參與政府采購活動中存在誠信相關問題的，本項不得分，未出現相關誠信問題的得滿分。以深圳市政府采購履約評價庫和政府采購行政處罰記錄中的資料為準。履約評價無差評且沒有處罰記錄的得100分，有差評的或有處罰記錄得0分。投標人無需提供任何證明材料，由采購中心工作人員向評委會提供相關信息。