劃片機采購公告

公告日期：2013年12月12日

招標編號: 2013[284]

招標機構名稱: 南京大學國有資產管理處

地 址：***

郵 編：210093

電 話：***

聯系 人***

南京大學國有資產管理處具體承辦南京大學“劃片機”項目的招標采購事宜，歡迎有意向的合格投標人報名投標。

郵件報名截止時間：2013年12月19日上午10:00。

一、報名方式：

    合格投標人將營業執照（加蓋公章）掃描件和投標申請表（見下表,Word 文檔）以附件形式發至： toubiaonju@126.com

    報名郵件主題統一為： 2013【284】劃片機

二、 招標要求：

1、主要技術參數

1.1 可加工基片尺寸：≤160mm×160mm   或   Φ6″。

1.2 切割晶圓厚度范圍：200μm～4mm。

1.3 適合加工產品類型：硅片,玻璃,陶瓷,石英,砷化鎵,藍寶石,鈮酸鋰等硬脆材料的切割。

1.4 切槽寬度：<刀厚+10μm (深度小于1mm時) 。

1.5 對準系統:：高分辨率定倍鏡頭+CCD，同軸+環形光源；

1.6 觸摸屏控制 ；新版軟件架構，切割效率更高；

 2、主軸

2.1 功率與轉速：交流；功率1.5kw；3000~40000rpm。

2.2 主軸氣壓：0.45~0.65MPa。

2.3 主軸與X軸垂直度：<0.01mm。

2.4 冷卻方式：水冷。流量:1.5L/min, 壓力:0.3MP, 溫度:室溫±2度

3、 X軸

3.1 工作行程：240mm。

3.2 驅動方式：伺服電機

3.3 速度設定范圍：0.1~400mm/s。

3.4 行程分辨率：0.001mm

4、 Y軸

4.1 有效切割行程：170mm。

4.2 驅動方式：步進電機+光柵閉環控制系統。

4.3單步步進精度：≤0.003μm /5mm。

4.4 全程最大誤差：≤5μm/170mm。

4.5 行程分辨率：0.0005mm

5、Z軸

5.1 主軸上下行程：Max30mm。

5.2 驅動方式：步進電機；

5.3 重復定位精度：0.002mm。

5.4 行程分辨率：0.001mm。

6、 θ軸

6.1 轉角范圍: 0~360°

6.2 驅動方式：伺服電機；

6.3 轉角分辨率：0.0005°(1.8″)

6.4 重復定位精度：±3.6″

7、機器性能

7.1自動測高功能；

7.2 主軸電流過載報警功能；

7.3 單通道多行程功能；

7.4 單刀口反切功能；

三、其他事項：

1、參與投標的公司必須符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條之規定；

2、法定代表人為同一個人的兩個及兩個以上法人，母公司、全資子公司及其控股公司，都不得同時投標，否則取消其投標資格；

3、此采購事宜的解釋權屬于南京大學國有資產管理處。