華東理工大學機動學院電子束蒸發鍍膜機招標信息
一、招標單位
華東理工大學機械與動力工程學院
二、招標項目及數量
項目名稱:電子束蒸發鍍膜機
數量:壹套
三、儀器要求
具有高性能精細顆粒鍍膜,適合場發射電鏡制樣應用以及制作表面覆形膜功能。
主機硬件要求: 工作腔室:<150mm內徑 x 130mm高,具有安全防護罩。樣品臺:Drop-in落入式快換樣品臺設計;可調高度的變速旋轉臺,直徑>50 mm;靶面至樣品臺距離可調范圍為38-79mm,轉速為8-20 rpm。擋板機構:自動擋板機構,用于蒸鍍除氣時保護基材。
真空系統:旋轉機械泵+70L/s渦輪分子泵(無需冷卻水);系統極限真空度為10-5mbar量級;機械泵為外部安裝式;提供蒸發薄膜系統所需的高真空度。金屬蒸發清潔頭:用于源自鎢籃的金屬熱蒸發。
四、投標要求
1.投標人必須是在中國境內具有法人資格的企業。
2.投標人必須是具有本招標采購設備的生產或授權代理商,同時具有完成本招標合同并能為本招標采購的設備提供長期售后服務和備品備件的能力
五、投標報名地點和時間
領取招標文件地點:上海市梅隴路130號華東理工大學實驗17樓337室
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領取招標文件時間:2013年09月26日 9:00-11:30;13:30-17:00