加入日期: | 2013.04.11 |
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截止日期: | 2013.04.18 |
地 區: | 上海市 |
內 容: | 名稱:顯影機 數量:1臺 |
關鍵詞: | 顯影機 大學 |
招標信息(二)
華東理工大學顯影機招標信息
一、 招標單位
華東理工大學理學院物理系
二、 招標項目
1、項目名稱:顯影機
2、數量:1臺
三、 儀器要求
1.加工6英寸晶圓片, 槽體承載25片6英寸晶圓片;
2.配備自動刷洗槽,清洗6英寸ITO玻璃片;
3.工藝過程PLC處理,移栽過程自動控制(采用日本進口PLC +7”彩色觸摸屏);
4. 顯影槽配備伺服拋動裝置,采用可調變速電機,確保拋動頻率及穩定性;
5.配備超聲加熱槽(RT-70°C可調),溫度精度:±1℃,顯示精度:±0.1℃,分布均勻度:±1℃,升溫時間: RT-70℃約30分鐘(按8L DI計算);
6 QDR槽采用德國進口PP-N材質。
四、投標要求
能夠滿足投標儀器要求的生產廠商或者具有授權資格的代理商均可參與競標。
五、投標報名地點和時間
領取招標文件地點:上海市梅隴路130號華東理工大學實驗二樓104室
聯系電話***
聯系人***
領取招標文件時間:2013年4月18日9:30-11:30