真空鍍膜系統招標公告

 招標編號: 2012[018]
招標機構名稱: 南京大學國有資產管理處
地 址：***
郵 編：210093
電 話：025-83592987；傳 真：***
聯系 人***
南京大學國有資產管理處（以下簡稱“招標機構”）具體承辦南京大學“真空鍍膜系統”招標采購項目的招標采購事宜，歡迎有意向的合格投標人于2012年7月18日（星期三）上午9點30前帶營業執照復印件與設備采購科聯系。
一.招標內容：
1. 系統真空：
1.1真空室極限真空度：≤5×10-4Pa.
1.2恢復工作時間：真空室內測量的工作壓力從1×105Pa至2×10-3Pa≤20min.
2. 真空系統控制：
2.1觸摸屏和PLC實現真空自動控制。
2.2真配置數顯復合真空計顯示高低真空數值。
2.3空操作系統實現互鎖保護，分子泵有斷水、斷相報警功能。
3. 蒸發源：
3.1電子槍：e型磁偏轉2700電子槍，單槍單電源，功率：6kw；加速電壓：6kv、10kv兩檔可切換，束流：0~0.6A可調，Y方向偏轉，X、Y方向掃描，配手持控制盒；四穴坩堝，每個容積20ml，電動換位，面板有位置顯示。
3.2電阻熱蒸發：功率2.5kw， 3組水冷電極（交替蒸發），配手持控制盒。
4. 膜厚控制：
4.1石英晶體測厚儀，與電子槍聯動，自動控制電子槍坩堝換位、蒸發速率和擋板的動作。
5. 工件臺、烘烤：
5.1真空室工作尺寸：500×500×680（寬×深×高）mm，全不銹鋼箱體，配有防污染不銹鋼屏蔽板；真空室門上有一個觀察窗，可觀察電子槍工作狀態，配用暗色玻璃，符合X射線防護國家標準。
5.2工件盤直徑φ460，φ300內膜厚精度優于±5%，轉速連續可調。
5.3工件盤可加熱，數顯溫控儀控溫，最高溫度3500C。
二.合格投標人必須符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條之規定。
三.條款解釋：本招標文件內容的解釋權屬于南京大學國有資產管理處。
南京大學國有資產管理處
二〇一二年七月十一日