PSI真空腔室和控制系統招標公告

PSI真空腔室和控制系統
招標公告
根據《中華人民共和國招標投標法》等有關法律、法規的規定，本招標項目有關設備（下稱招標設備）已具備招標條件，向社會進行公開招開?，F就相關情況做如下公告。
1. 項目概況與招標內容
1.1項目編號： CDSB2012008
1.2項目名稱：PSI真空腔室和控制系統
1.3項目內容：
序列 名 稱 參 數 數量 備注
1 PSI真空腔室和控制系統 真空系統主要性能指標
一、主要性能指標
1、極限真空度：5×10-4 Pa（充干燥氮氣、烘烤）
2、工作真空度：1×10-1 Pa～100 Pa
3、抽氣速度：真空室在常溫下，從1大氣壓至 7 X 10-4 Pa 時間 30 ～ 40 分鐘（充干燥氮氣）。
4、漏氣率：12小時后真空度≤10 Pa。
5、磁場強度達0.4 T。
二、主要結構
1. 真空室：
1．1 樣品分析真空桶室
1.1.1型式：立式，雙層水冷，前后開門
1.1.2內徑尺寸：Φ600×600mm
1.1.3材料：不銹鋼304
1.1.4基片位置：真空室端部，基片直徑≤Φ300mm
1.1.5離子源位置：真空室端部，預留口Φ250mm
1.1.6觀察窗：真空側面 4個，兩個側面對稱分布；單側2個CF150；真空室上下4個CF100（刀口金屬密封）；8個磁旋觀察窗擋板
1.1.7預留口：真空室頂，2個CF50 4個CF35（刀口金屬密封）
1.1.8 機組接口：真空底部，1個CF400，1個CF50
1.1.9 真空室襯板： 材料：不銹鋼304，1套
1.1.10 真空室架： 碳鋼結構制作，防銹處理

1．2 高密度等離子體輸運腔室
1.2.1型式：臥式，一端開門，另一端和分析腔室連接
1.2.2內徑尺寸：Φ300×1000mm
1.2.3材料：不銹鋼304
1.2.4基片位置：真空室部，基片直徑≤Φ300mm
1.2.5離子源位置：真空室端部，預留口Φ250mm
1.2.6觀察窗：真空上部2個和兩個側面對稱分布4個CF63
1.2.7預留口：真空室門，4個CF35（刀口金屬密封）
1.2.8 真空室襯板： 材料：不銹鋼304，1套
1.2.9 真空室架： 碳鋼結構制作，防銹處理

2. 真空系統
2．1機械泵 ZX-70
2．2羅茨泵 ZJP-300
2．3分子泵
2．4真空閥門：
2.4.1電磁壓差閥、
2.4.2氣動預抽閥、
2.4.3氣動維持閥、
2.4.4氣動超高真空插板閥
2．5真空管道以及波紋管，不銹鋼
3. 真空測量:
數顯復合真空計（雙顯）
低真空測量：ZJ-52型電阻規，兩個測試點
高真空測量：ZJ-27型電離規
數字通訊
4. 基片轉系統
在真空室端部；
自轉控制，無級調速，連續可調；
樣品臺：尺寸Φ300mm；
軸向移動：移動距離200～800mm
樣品溫度控制系統
加熱形式：不銹鋼管加熱器（或電阻絲加熱）
溫度：最高溫度500℃，溫度可控可調
溫度控制：1個智能PID溫度控制，數值顯示，數字通訊
5. 偏壓電源：
功率：6KVA
脈沖電壓：A檔-50～-500V 連續可調；B檔-500～-1200V 連續可調
輸出電流：0.5～10A；0.5～5A
頻率： 30～60KHz連續可調
占空比： 10%～80%連續可調
6. 氣體流量控制系統（用戶自備）mks
數字顯示6路流量控制（0－－1000SCCM）
送氣、混氣系統
截止閥：6個
7. 控制系統：
帶互鎖保護功能，
真空系統操作為自/手動兩種模式
抗干擾系統
PLC，電腦實現自動控制
數據可以實現保存和輸出
8. 真空密封：室門、離子源接口、樣品轉動密封為真空氟橡膠密封，其余接口為刀口金屬密封
9. 離子源及電源（用戶自備）
10. 放氣閥
11. 其他五金標準件

12.磁場系統
12.1 總體參數：
孔徑R（mm）=310
有效孔徑Reff（mm）=300
線圈導線截面積（mm）=12*12/Φ6
每個銅線圈匝數=9*20/9*16/9*20

12.2 電流參數：
電流I（A）=642.2
平均電流密度J（A/mm²）=3.8
線圈電阻R（mohm）=112.5
線圈電壓降（V）=72.3
線圈（3個）消耗功率P（kW）=46.4

12.3冷卻參數：
冷卻方式：水冷
水路數m（）=5/4/5
線圈水壓Phm（Kg/cm²）=3.0
線圈水速Vm（m/s）=1.56
線圈耗水量Qm（l/s）=0.62
線圈溫升deltaT（度）=17

12.4結構參數
線圈重量（kg）=697
鐵重量 (kg)=234
1套

1.4項目范圍： 見招標文件
2. 投標人資格要求
1、在中國境內注冊并具有獨立法人資格的合法企業；
2、具有良好的商業信譽和健全的財務會計制度；
3、具有履行合同所必須的設備和專業技術能力；
4、具有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；
5、參加本次采購活動前三年內，在經營活動中沒有重大違法違規記錄；
6、采購項目要求的特殊資格性條件(詳見招標項目及要求)。
3. 招標文件的獲取
3.1 凡有意參加投標者，請于2012年03月13日至2012年03月19日（法定公休日、法定節假日除外），每日上午9時至11時，下午15時至17時（北京時間，下同），在 成都市一環路南一段二十號四川大學行政樓208B室持公司營業執照復印件加蓋公章、單位介紹信加蓋公章購買招標文件。外地投標商需在2012年03月19日17點前將購買標書的費用轉入四川大學賬號，并將轉賬憑證（附上接收發票地址）、公司營業執照、單位介紹信等傳真至四川大學設備處，憑此購買招標文件電子檔。傳真號碼：028-85406315
3.2 招標文件每套售價300元，售后不退。
3.3本次招標公告同時在四川大學設備處網上發布。
4. 投標文件的遞交
4.1 投標文件遞交的時間為：2012年03月20日09時至11時，遞交投標文件的截止時間（投標截止時間，下同）為2012年03月20日11時，地點為成都市一環路南一段二十四號四川大學行政樓208B室。
4.2 逾期送達的或者未送達指定地點的投標文件，招標人不予受理。
5. 開標時間及地點
5.1 開標時間地點電話通知，開標時請參與投標方準時派員出席，每一投標單位限3名以內代表參加（外地廠商家可不出席）。開標前，允許各投標人有五分鐘的口頭補充表述(也可以放棄)。
6. 聯系方式***
招 標 人：四川大學 地 址：***
聯 系 人***
電 話：028-85406315 傳 真：***
戶 名：四川大學
開戶銀行：工行芷泉支行四川大學分理處
賬 號：4402217009008944562