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電子束曝光系統項目招標公告
- 信息發布日期：2011.03.08 標簽： 江蘇省招標 南京市招標
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加入日期： 2011.03.08 截止日期： 2011.03.14 招標業主： 南京航空航天大學 地 區： 南京市 內 容： 2.1設備清單 圖形發生器 1 圖形曝光軟件包 1 控制主機 1 輔助樣品及工具 1套 -
招標公告正文
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南京航空航天大學高新技術研究院，所需電子束曝光系統項目進行招標，現邀請具備相應資質的單位前來投標。1 項目概述電子束曝光系統項目及相關服務。2 招標設備清單及技術要求2.1設備清單圖形發生器 1圖形曝光軟件包 1控制主機 1輔助樣品及工具 1套備品備件 若干2.2技術要求u 圖形發生器掃描頻率>2.5MHz，電子束駐留時間最小增量<100nsu 自動計算曝光參數u 能夠制作、識別對位標記，并自動通過識別標記對精細尺寸圖形和大尺寸圖形進行曝光控制和拼接u 支持點、線、面、復雜圖形及CAD、GDSII 等數據格式u 支持多層多次曝光的拼接套刻。u SEM、EDX能譜、EBL不影響相互功能的互聯和轉接u 在電子束滿足要求下，可以較容易完成最下100nm特征尺寸的圖形u 法拉第杯束流檢測Faraday cup for probe current measurement(電鏡配備則不需)u 束闌控制器 (Beamblanker Driver Electronics) (電鏡配備則不需)3 投標要求：1) 投標書中須含技術響應偏離表，列明產品品牌、型號、單項報價及總價；如有必要，需方將先進行技術評審；2) 本項目的總報價須為所有設備包含運費、現場改造費、安裝調試費、培訓和售后服務費的所有費用總計；如是進口產品，應報兩個總價格：按外幣報免稅價和按人民幣報含稅價。3) 本項目所列技術要求，應視為保證涉及系統運行所需的最低要求，如有遺漏，投標人應予以補充，否則，一旦中標將認為投標人認同遺漏部分并免費提供。4) 合同簽訂后，本項目設備需在電鏡到位后一個月內完成供貨且安裝調試完畢。5) 項目必須提供完善的培訓和售后服務。提供培訓內容至少包括： EBL使用及參數選擇、曝光全流程的實現、標準器件的制作，培訓至少保證4人以上能完成曝光系統的日常使用和維護。培訓產生的相關費用均包含在投標總價中，投標人應根據上述要求在投標書中以單獨列表形式列明費用清單。6) 任一投標人中標后，中標的投標人須在自中標結果公布起三十個工作日內與招標方簽訂銷售合同并使之生效。合同的主要條款包含該投標人在投標書中對設備及其性能指標的所有陳述以及該投標人的授權代表在評標現場的書面或口頭承諾。7) 投標的產品免費質保期不少于一年。4 報名時間、地點及聯系電話報名時間：2011年3月8日—3月14日（工作日時間：早上8：00——12：00，下午14：00——17：00）遞交投標文件地點：南京航空航天大學明故宮校區綜合行政樓322室。投標人如對本招標文件具體內容、技術規格、參數及其他要求，需要咨詢時，請來電話聯系。聯系人***電 話：025-84896397有關本次招標活動的報名等具體問題，可來電話聯系。聯系人***電 話：025－84892959/84892542 傳真：***
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