加入日期: | 2009.11.25 |
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截止日期: | 2009.12.03 |
招標代理: | 河北大學國有資產管理處 |
地 區: | 河北省 |
內 容: | 序號 名 稱 技術指標或配置要求 數量 單位 備注 1 脈沖激光沉積系統 1、背底真空度: 5×10-5Pa 2、樣品臺襯底尺寸:≤φ60 mm 3、樣品臺襯底可加熱溫度:室溫~800 ℃(樣品溫度)可調,可控,氧氣氛生長氧化物薄膜 1 套 |
序號
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名 稱
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技術指標或配置要求
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數量
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單位
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備注
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1
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脈沖激光沉積系統
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1、背底真空度: 5×10
-5Pa
2、樣品臺襯底尺寸:≤φ60 mm
3、樣品臺襯底可加熱溫度:室溫~800 ℃(樣品溫度)可調,可控,氧氣氛生長氧化物薄膜
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1
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套
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