招標編號: | 0618-0840TC084C06/06 |
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加入日期: | 2008.08.04 |
截止日期: | 2008.08.26 |
招標代理: | 中招國際招標公司 |
地 區: | 湖南省 |
內 容: | 招標產品的名稱、數量及主要技術參數: 1包:激光切割機設備及安裝 1臺 參數:處理能力:能切割6英寸及其以下直徑尺寸、硅片的厚度0.2mm到1.65mm。 2包:擴散爐設備及安裝Ⅰ 4臺 參數:爐管配置(單臺設備從上到下爐管編號依次為:爐管1、爐管2、爐管3、爐管4) 3包:擴散爐設備及安裝Ⅱ 1臺 參數:工藝溫度:900~1280℃; 4包:全自動涂膠機設備及安裝 3臺 參數:產能 以BN308-150為例,要求膠厚3um,可在保證均勻性+/-2%的條件下,單臺產能必須大于70片/小時 5包:手動光刻機設備及安裝 2臺 參數:掩膜板架(掩膜板尺寸4”,5”、6”和7”);硅片尺寸 3”, 4”、5”和6” 6包:自動光刻機設備及安裝 1臺 參數:掩膜板架(掩膜板尺寸4”, 5”、6”和7”);硅片尺寸 3” ,4”,5”和6” |