加入日期: | 2008.06.23 |
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截止日期: | 2008.06.30 |
地 區: | 浙江省 |
內 容: | 準分子激光器、脈沖激光沉積系統 主要技術要求: 標項一:準分子激光器 準分子激光器詳細技術指標: ? 激光波長 : 248nm ? 脈沖能量 : 700mJ ? 平均功率 : 5W ? 最大脈沖頻率 : 10Hz ? 脈沖寬度 : 20~25 ns ? 脈沖的穩定度 : 1% ? 激光束的截面積 : 24~29× 10 mm ? 激光發散角 : 3×1 mrad 標項二:脈沖激光沉積系統 極限真空度: <5 × 10 - 7 Torr ; 靶材尺寸: 3 個 -inch, 或 6 個 1-inch ; 靶材可自轉、公轉; 基片自轉; 基片最大尺寸:單個直徑 2-inch 基片,或多個更小的基片; 基片加熱最高溫度: > 800 ℃ ; 靶材到基片距離: 可以在 50mm ~ 90mm 范圍內調節; 能實現激光束掃描 |
浙江大學采購中心根據要求,對以下項目進行采購,歡迎合格的供應商前來咨詢報名。
1 、采購內容:
準分子激光器、脈沖激光沉積系統
主要技術要求:
標項一:準分子激光器
準分子激光器詳細技術指標:
? 激光波長 : 248nm
? 脈沖能量 : 700mJ
? 平均功率 : 5W
? 最大脈沖頻率 : 10Hz
? 脈沖寬度 : 20~25 ns
? 脈沖的穩定度 : 1%
? 激光束的截面積 : 24~29× 10 mm
? 激光發散角 : 3×1 mrad
附件:
Item
QTY
Catalog #
DESCRIPTION
1
1
Regulator
Single stage stainless steel regulator, USA
2
1
F2/HE
5% Fluorine/Balance Helium , USA
3
1
Kr & Regulator
Domestic 99.99% Krypton
4
1
Ne & Regulator
Domestic 99.995% Neon
5
1
He & Regulator
Domestic 99.995% Helium
6
2
Lens and reflector
Domestic lens ,reflector and mounts
7
2
Glasses
For 248 nm
標項二:脈沖激光沉積系統
極限真空度: <5 × 10 - 7 Torr ;
靶材尺寸: 3 個 -inch, 或 6 個 1-inch ;
靶材可自轉、公轉;
基片自轉;
基片最大尺寸:單個直徑 2-inch 基片,或多個更小的基片;
基片加熱最高溫度: > 800 ℃ ;
靶材到基片距離: 可以在 50mm ~ 90mm 范圍內調節;
能實現激光束掃描
附件:
Laser Beam Raster Package( 包括光學平臺和氣瓶柜 )
High Vacuum Nano PLD Intelligent Window( 智能窗口 )
2 、報名時間:即日起至 2008 年 6 月 30 日
3 、報名注意事項:
?。?1 )供應商報名時,提供以下材料:
營業執照復印件、聯系人聯系方式***
如果是代理商,請提供原廠授權書或代理證書復印件。
?。?2 )請供應商通過 傳真、電子郵件***
4 、報名地點:浙江大學采購中心
地址:***
聯系人***
電話:***
傳真:***
Email : zupc@zju.edu.cn