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磁控濺射成膜機、干刻機和灰化機、干刻機(鈍化膜刻蝕)等招標公告
- 信息發布日期：2006.07.13 標簽： 上海市招標
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招標編號： 0730-0640GD041401 加入日期： 2006.07.13 截止日期： 2006.08.02 招標業主： 上海天馬微電子有限公司; 招標代理： 中航技國際經貿發展有限公司 地 區： 上海市 -
招標公告正文
- 項目名稱: 0730-0640GD041401/01 磁控濺射成膜機(PVD)1套(含GATE、S/D、ITO); 0730-0640GD041401/02 干刻機和灰化機(3臺干刻機、1臺灰化機); 0730-0640GD041401/03 干刻機(鈍化膜刻蝕)1套; 0730-0640GD041401/04 干刻機(小島/溝道刻蝕)2套; 0730-0640GD041401/05 灰化機1臺 日期：2006年07月13日 招標編號：0730-0640GD041401 中航技國際經貿發展有限公司受買方委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標?，F邀請合格投標人參加投標。 1、招標產品的名稱、數量及主要技術參數： 招標編號：0730-0640GD041401/02 1、招標產品的名稱、數量及主要技術參數： 干刻機&灰化機 設備技術要求及主要規格參數： A6.設備用途及基本要求： 本設備應能刻蝕玻璃基板上的薄膜。系統采用工裝籃到工裝籃的工作方式，全自動單片處理，多腔體刻蝕灰化。 A 7.5.1基板尺寸：730mm×920mm；厚度：0.4/0.5/0.6/0.63/0.7mm *A 7.5.2工作模式：RIE （電極偶合） A 7.5.3工藝腔結構類型： 多腔體 A 7.5.5射頻電源： 輸出：7.5 KW 頻率：13.56 MHz 頻率調諧方式：自動 通信接口：RS232C *A 7.6.1.3.5靜電夾具 (只為一臺進行鈍化膜刻蝕設備配備) A7.6.6.1工藝氣體：賣方需提供6路或6路以上氣路 1．第一路：SF6 2．第二路：Cl2 3．第三路：He 4．第四路：O2 5．第五路：預留 6．第六路：預留 *A7.7.3產能：>3萬片/月 （30天/月，22.5小時/天，開工率>85%） B6.設備用途及基本要求： 本系統是采用等離子體對基板表面的PI膜層進行灰化。 B 7.5.1基板尺寸：730mm×920mm；厚度：0.4/0.5/0.6/0.63/0.7mm *B 7.5.2工作模式：RIE （電極偶合） B 7.5.4射頻電源： 輸出：5KW ~ 10KW 頻率：4 MHz or 13.56 MHz 頻率調諧方式：自動 通訊接口：RS232C B 7.5.7供氣管路數：工藝氣體：3路或以上（每個腔） 招標編號：0730-0640GD041401/03 1、招標產品的名稱、數量及主要技術參數： 干刻機（鈍化膜刻蝕）1臺 7.3系統構成：本系統應有3個刻蝕腔，傳輸腔，上、下料腔，大氣機器手（買方提供），上、下料機（買方提供） 7.5.1基板尺寸：730mm×920mm；厚度：0.4/0.5/0.6/0.63/0.7mm *7.5.2工作模式：RIE （電極偶合） 7.5.3工藝腔結構類型： 多腔體 7.5.5射頻電源： 輸出：7.5 KW 頻率：13.56 MHz 頻率調諧方式：自動 通訊接口：RS232C 7.5.8供氣管路數： 工藝氣體：≥6路 保護氣體：1路（每個腔，N2標準） *7.7.3產能：>3萬片/月 （30天/月，22.5小時/天，開工率>85%） 招標編號：0730-0640GD041401/04 招標產品的名稱、數量：干刻機（小島/溝道刻蝕）2臺 主要技術參數： 7.3系統構成：本系統應有3個刻蝕腔，傳輸腔，上、下料腔，大氣機器手（買方提供），上、下料機（買方提供） 7.5.1基板尺寸：730mm×920mm；厚度：0.4/0.5/0.6/0.63/0.7mm *7.5.2工作模式：RIE （電極偶合） 7.5.3工藝腔結構類型： 多腔體 7.5.5射頻電源： 輸出：7.5 KW 頻率：13.56 MHz 頻率調諧方式：自動 通訊接口：RS232C 7.5.8供氣管路數： 工藝氣體：≥6路 保護氣體：1路（每個腔，N2標準） *7.7.3產能：>3萬片/月 （30天/月，22.5小時/天，開工率>85%） 招標編號：0730-0640GD041401/05 1、招標產品的名稱、數量及主要技術參數： 灰化機 7.3系統構成：本系統應有2個灰化腔，大氣機器手（買方提供），上、下料機（買方提供） 7.5.1基板尺寸：730mm×920mm；厚度：0.4/0.5/0.6/0.63/0.7mm *7.5.2工作模式：RIE （電極偶合） 7.5.4射頻電源： 輸出：5KW ~ 10KW 頻率：4 MHz or 13.56 MHz 頻率調諧方式：自動 通訊接口：RS232C 7.5.7供氣管路數：工藝氣體：3路或以上（每個腔） *7.7.2灰化速度：≥4000?/min 選擇比：PI/ITO≥10 2、招標文件售價： 0730-0640GD041401/02售價:10000元人民幣, 0730-0640GD041401/03售價:5000元人民幣, 0730-0640GD041401/04售價:8000元人民幣, 0730-0640GD041401/05售價:3000元人民幣. 3、購買招標文件時間：即日起至投標截止時間止，每天08:30-16:00，節假日除外 4、購買招標文件地點：北京市朝陽區慧忠路５號遠大中心Ｂ座２０層，中航技國際經貿發展有限公司 5、投標截止時間和開標時間：2006-08-02 10:00:00 6、開標地點：上海 地址：上海 郵編：100101 電子郵箱：ytx@catic-ted.com 電話：+86-10-84892626/515 or (663) 傳真：84891126 聯系人：劉潔 小姐, 楊彤欣 先生 開戶銀行（人民幣）：招行亞運村支行 開戶銀行（美元）：中國銀行總行營業部 帳號（人民幣）：0783419210001 帳號（美 元）： 00289708094014
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客戶咨詢:400-633-1888 信息發布電話:13030031390 傳真號碼:010-59367999 總部地址:北京市海淀區中關村大街11號7層(100190)
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